硅是不銹鋼中的主要耐蝕元素之一，高的硅含量提高了不銹鋼在98％濃硝酸中的耐全面腐蝕的性能（在稀硝酸中正相反）和抗氧化物應力腐蝕及點腐蝕性能。常用的含硅奧氏體不銹鋼有：06Cr18Ni13Si4、05Cr19Ni10Si2CeN、16Cr20Ni14Si2、16Cr25Ni20Si2、12Cr18Ni19Si3及022Cr14Ni14Si4等。
典型含硅奧氏體不銹鋼的熱處理工藝如下：
一、06Cr18Ni13Si4不銹鋼的熱處理
06Cr18Ni13Si4不銹鋼是在06Cr19Ni10不銹鋼的基礎上增加鎳、添加硅而發展起來的奧氏體不銹鋼，硅是鉻鎳奧氏體不銹鋼中不可缺少的重要合金元素，可提高鋼的耐應力腐蝕、耐濃硝酸及硫酸的腐蝕性能。用于含氯離子環境，如汽車排氣凈化裝置。其熱處理工藝是：
消除加工應力退火，加熱溫度300～350℃，保溫1～2h，空冷。
消除焊接應力退火，加熱溫度700～900℃，保溫1～3h，空冷。
消除冷作加工硬化退火，加熱溫度750～850℃空冷，固溶處理加熱溫度1010～1150℃，水冷或空冷，固溶后硬度≤207HBW。
二、16Cr20Ni14Si2不銹鋼的熱處理
16Cr20Ni14Si2不銹鋼是含硅奧氏體不銹鋼，具有較高的高溫強度及抗氧化性，適用于制造承受應力的各種爐用構件，其熱處理工藝是：
消除加工應力退火，加熱溫度300～350℃，保溫1～2h，空冷。
消除焊接應力退火，加熱溫度700～900℃，保溫1～3h，空冷。
消除冷作加工硬化退火，加熱溫度750～850℃，保溫1～3h，空冷。
固溶處理，加熱溫度1080～1130℃，水冷或空冷，固溶后硬度≤187HBW。
